美國(guó)YLOK依洛克進(jìn)口高真空微調(diào)閥(又稱真空針閥)是靠螺桿傳動(dòng)來調(diào)節(jié)錐形針和孔的縫隙長(zhǎng)度，改變閥座流導(dǎo)值。是用來向真空系統(tǒng)中充氣并可準(zhǔn)確調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量，以控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)內(nèi)的真空度。適用的工作介質(zhì)為不含顆?；覊m的空氣及非腐蝕性氣體。高真空微調(diào)進(jìn)氣閥能準(zhǔn)確的控制每單位時(shí)間內(nèi)氣體的流量泄露到真空腔室。此閥的截流孔變化是通過微調(diào)螺紋機(jī)械帶動(dòng)閥針的上下位移來達(dá)到，從而精密的控制了閥門的氣體泄露量。本閥的動(dòng)密封采用不銹鋼波紋管密封（1.4除外），保證了閥門動(dòng)密封的可靠性。為了防止粉塵的進(jìn)入，在閥的氣流入口，裝有過濾氣片，這樣大大提高了閥門的使用時(shí)間。本閥針的上下位移均有限位裝置，保證了閥針，閥座及波紋管的時(shí)間。閥們的適用介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。為了讓用戶使用方便，本系列微調(diào)閥可帶有或不帶有截止閥，從而更進(jìn)一步提高了針閥的使用及便于用戶操作

進(jìn)口高真空微調(diào)閥產(chǎn)品特點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化設(shè)計(jì)，易于更換及維修；

便于清潔的設(shè)計(jì)；

電磁閥采用節(jié)能設(shè)計(jì)，體積小。

進(jìn)口高真空微調(diào)閥性能指標(biāo)

可變漏率范圍：1000～１×10-5CM·S-1、此閥可滿足設(shè)備所需的全量程的泄漏調(diào)節(jié)；

對(duì)漏率的可變范圍進(jìn)行無級(jí)控制、漏率：<1.0×10-7Pa·L·S-1、良好的閥位重復(fù)性；

烘烤溫度:120℃、工作溫度：80℃、微米比例尺，可對(duì)特定氣體的流量的零位設(shè)置進(jìn)行重復(fù)調(diào)節(jié)。

進(jìn)口高真空微調(diào)閥技術(shù)參數(shù)

公稱通徑(DN)：0.8、ΦD：22

小可調(diào)量(Pa.L/S)：1.3x10-2

大可調(diào)量(Pa.L/S):4000

適用范圍(Pa)：105～1.3x10-2

漏氣率(Pa.L/S)：＜1.3x10-6

介質(zhì)溫度(℃)：-25～+80

主要件材料：閥體:1Cr18Ni9Ti

針:2Cr13

閥座:無氧銅不銹鋼

進(jìn)口高真空微調(diào)閥主要性能指標(biāo)

適用范圍(Pa)105～1.3x10-5Pa

閥門漏率(Pa.L/S)≤1.3x10-5Pa

開閉時(shí)間(S)DN≤6320；80≤DN≤20030；DN≥25048

介質(zhì)溫度（℃）-25～+80(密封材料為丁橡膠)

-30～+150(密封材料為氟橡膠)

法蘭標(biāo)準(zhǔn)JB919

安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口

安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口